2나노 급 반도체 공정에서 파운드리 3사가 일제히 적용: 후면전력공급네트워크 BSPDN이 뭔데...? 반도체 공정을 알면 답이 보인다

• 반도체 공정에서 백사이드 파워 딜리버리 네트워크(BSPD)는 전력 공급선을 트랜지스터의 후면에 배치하여 신호선과 전력선을 분리함으로써 노이즈와 인터피어런스를 줄이고 성능을 향상시키는 기술이다.

• BSPD는 전력 공급선을 후면으로 이동시켜 신호선을 더 조밀하게 구성할 수 있게 하며, 이는 트랜지스터의 미세화와 복잡한 3D 구조를 지원하는 데 중요한 역할을 한다.

• 인텔과 TSMC는 각각 파워비아와 베리드 메탈 방식을 사용하여 BSPD를 구현하고 있으며, 이는 전력 손실을 줄이고 클럭 속도를 증가시키는 효과가 있지만, 실리콘 낭비와 공정 복잡성 증가 등의 문제도 있다.